2、使用四探针法
四探针法用在非常薄的样品，例如晶圆片和导电涂层上。图2是四点铜线探针用于电阻率测量的配置图。电流从两个外部的探针加入，而电压降则在两个内部的探针之间测量。表面电阻率的计算公式为：
其中：σ=以欧姆/□ 为单位的表面电阻率，V=电压表测得的电压，I=电流源电流。
注意，表面电阻率的单位表达为欧姆，以区别于测量出的电阻(V/I)。对于极薄或极厚的样品，可能需要使用修正因数对电阻率的计算进行修正。
3、van der Pauw范德堡测量法
虽然范德堡van der Pauw电阻率测量法主要用于半导体工业，但是也可用于其它一些应用工作，例如：用来确定超导体或其它薄片材料的电阻率。van der Pauw法用于扁平、厚度均匀、任意形状，而不含有任何隔离孔的样品材料。如图3所示，接触点应当很小，并且安放在样品的外围。
围绕样品进行8次测量。对这些读数进行数学组合来决定样品的平均电阻率。有关van der Pauw法的更进一步的信息可以在ASTM标准F76中找到。
图4示出使用van der Pauw法决定导电样品电阻率的完整系统。该系统包括用来提供流过样品的电流的6220型电流源和用来测量产生电压降的2182A型纳伏表。由7168 型纳伏卡和7156型通用卡组成的开关矩阵在四个样品端子上切换电压表和电流源。这些开关卡必须按照图中所示进行连接。从7168卡到样品的连接必须使用不镀锡的铜线以便将热电动势降到最低。然后，必须将这些从7168卡的连接延伸到7156卡。7001型扫描器主机控制这些开关卡。
为了向端子3和4送入电流，应当闭合通道7L和4H。而测量端子 1和2之间的电压降则应当闭合通道15L和12H。 如果被测样品的电阻率范围很宽，可以用7065型霍尔效应卡来代替7168和7156扫描器卡。电磁干扰测试仪器：http://www.hyxyyq.com返回搜狐，查看更多